kurabo液體成分濃度計的技術特點

ChemicAlyzer 是一種液體成分濃度計，采用采用光吸收原理的在線設計實現(xiàn)連續(xù)測量。自 1990 年以來，我們作為紅外液體成分濃度計的先*開始了我們的業(yè)務，我們利用我們豐富的專業(yè)知識和技術，通過響應質量和化學濃度的需求來應對不斷發(fā)展的半導體器件制造工藝。支持管理。

我們將通過靈活應對工藝和特殊化學品，以及通過高精度化學濃度測量“提前應對測量需求”，繼續(xù)為優(yōu)化制造工藝做出貢獻。

1.高質量

為每個測量目標選擇*佳波長并為每個設備創(chuàng)建校準曲線。

我們提供通過檢驗測試的穩(wěn)定產品，機器差異很小。

2.高性能

ChemicAlyzer 是一款高性能密度計，具有出色的響應性和分辨率。

濃度控制是可能的，即使是快速分解的成分的最輕微變化也不會被忽視。

3.耐久性

有助于長期降低運行成本。

我們提供支持已超過 10 年，并擁有良好的業(yè)績記錄。

晶圓制造工藝

?抗蝕劑剝離劑的濃度控制

?酸堿清洗液的濃度控制

半導體制造工藝

?再生化學品的濃度管理

?氧化膜/氮化膜蝕刻液的濃度控制

標準型 Pro
-2（KIS 系列）

• 

• 型號：KIS-2□-R[-備注]
  （□是表示化學種類的符號。）

  設備配置		融合的
  設備尺寸		W201 x D340 x H198 [毫米]
  設備重量		約11公斤
  安裝環(huán)境	地方	半導體制造工廠無塵室或同等設備
  	環(huán)境溫度	20 至 30°C（無冷凝）
  電源		AC100-220V 80W

Pro-2+（KIS-P 系列）
Pro-2+（KIS-P 系列）

• 

• 型號：KIS-2□-RP[-備注]
  （□是表示化學種類的符號。）

  設備配置		一體型 (*1)
  設備尺寸		W270 x D340 x H257 [毫米]
  設備重量		約16公斤
  安裝環(huán)境	地方	半導體制造工廠無塵室或同等設備
  	環(huán)境溫度	20 至 30°C（無冷凝）
  電源		100-220V 100W

高性能型號 Ace-3（KIS-A 系列）

• 

• 型號：KIS-2□-A[-備注]
  （□是表示化學種類的符號。）

  設備配置		融合的
  設備尺寸		W250 x D330 x H282 [毫米]
  設備重量		約15公斤
  安裝環(huán)境	地方	半導體制造工廠無塵室或同等設備
  	環(huán)境溫度	20 至 30°C（無冷凝）
  電源		DC24V 100W

RD-20 系列 (RD-10/20/30)
RD-20 系列 (RD-10/20/30)

• 

• 型號：RD-2□[-備注]
  （□是表示化學種類的符號。）

  設備配置		一體型 (*1)
  設備尺寸		W176 x D288 x H176 [毫米]
  設備重量		約6公斤
  安裝環(huán)境	地方	室內環(huán)境，無振動或腐蝕性環(huán)境
  	環(huán)境溫度	10 至 30°C（無冷凝）
  電源		DC24V 30W

TECH（TM 系列）
TECH（TM 系列）

• 

• 型號：TM-2□-A-FS[-備注]
  （□是表示化學種類的符號。）

  設備配置		分離細胞類型
  設備尺寸		W196 x D340 x H260 [毫米]
  設備重量		約11公斤
  安裝環(huán)境	地方	半導體制造工廠無塵室或同等設備
  	環(huán)境溫度	20 至 30°C（無冷凝）
  電源		AC100-220V 80W